Auto-Match自动匹配器是专门设计用来将等离子体腔体工作时的阻抗（容性或感性）自动转换成使射频源输出最大功率的状态。Auto-Match自动匹配器是设计为频率范围为1MHz至81MHz，功率范围为100W至10kW的射频源提供使其输出最大功率的阻抗。
Auto-Match自动匹配器按照使用的功率范围可分为Auto-Match 600，Auto-Match 1500，Auto-Match 5000等不同的系列。其中Auto-Match 600，Auto-Match 1500的冷却系统根据具体的使用情况可选择水冷或风冷，客户可按照具体应用情况选择；Auto-Match 5000及更高功率的自动匹配系统的冷却系统推荐使用水冷。
Auto-Match自动匹配器均有自动匹配和手动匹配两种操作方式。用户可使用面板上的切换键便捷地切换所需要的操作方式。同时，用户可以通过面板上的模拟接口来控制Auto-Match自动匹配器。
Auto-Match自动匹配器采用优化算法能根据负载阻抗来自动调节电机转速，同时能避免目前PECVD设备中普遍存在的多匹配器间的干扰问题，达到更快更精确的匹配效果，提高了Auto-Match自动匹配器的稳定性及使用寿命。
我们将会由专业技术人员为客户提供产品选型及使用指导，确保客户能正确、有效地使用Auto-Match自动匹配器。另外我们的工程技术人员会根据客户的具体要求提供频率为1MHz至250MHz的产品定做。
Auto-Match系列自动匹配器的技术特点：
1：匹配速度，即建立稳定匹配所需时间；Min：1s；Normal：5s ；Max：10s。
2：建立稳定匹配后反射功率大小；Normal：0W；Max：射频电源输出功率的1% （对于工作频率为13.56MHz和27.12MHz自动匹配器，CCP应用）
Auto-Match自动匹配器型号列表
Auto-Match 0613 13.56MHz 600W
Auto-Match 1513 13.56MHz 1500W
Auto-Match 5013 13.56MHz 5000W
Auto-Match 0627 27.12MHz 600W
Auto-Match 1527 27.12MHz 1500W
Auto-Match 3027 27.12MHz 3000W
Auto-Match 2040 40.68MHz 2000W
Auto-Match 5040 40.68MHz 5000W
Auto-Match 2060 60MHz 2000W
Auto-Match 2081 81MHz 2000W
